飛納掃描電鏡放大倍數(shù)超過10萬倍,分辨率<100 nm,能勝任大部分微納米結(jié)構(gòu)樣品的測樣需求,還可以起到為場發(fā)射掃描電鏡的測量篩選樣品的作用。
掃描電鏡作為系統(tǒng)流變學研究所材料表征平臺之一,能夠在多方面的研究工作中發(fā)揮重要作用,例如:材料的構(gòu)效關(guān)系研究、納米和微米結(jié)構(gòu)檢測、微流道加工、微納噴頭制備等。
儀器性能與優(yōu)勢:多種成像模式獲取高清晰度圖像;30秒快速成像,適合各類固體與粉末樣品的快速檢測;1500小時壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲;自動燈絲對中,自動調(diào)節(jié)圖像亮度、對比度;樣品導(dǎo)航,全程定位樣品掃描位置;無需噴金的條件下可直接觀測各類材料;具有一定的防震功能,對表征環(huán)境要求不高。
掃描電鏡采用低加速電壓(5、10、15 kV)、低真空度(0.1 mBar)、高靈敏度背散射電子探測器與長壽命高亮度低色差的CeB6燈絲的優(yōu)化組合,為樣品提供高信噪比、表面細節(jié)豐富的優(yōu)質(zhì)圖像,探測背散射電子,展現(xiàn)清晰形貌結(jié)構(gòu),低加速電壓,電子穿透深度淺,避免樣品的深度破壞,展現(xiàn)更多表面細節(jié)。
分析測試中心的傳統(tǒng)大型電鏡屬于稀缺科研資源,無法滿足眾多課題組的大量測樣需求。通常使用這類電鏡需要排隊預(yù)約,為此常常耗費大量的等待時間,導(dǎo)致實驗無法及時得到結(jié)果反饋。飛納掃描電鏡15秒抽真空,操作簡單、載樣快捷,該電鏡的應(yīng)用可以大幅度提高研究效率。