掃描電鏡介紹
更新時(shí)間：2016-12-30 點(diǎn)擊量：3118
掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡，是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來(lái)迅速發(fā)展起來(lái)的一種新型的電子光學(xué)儀器。由于它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)，故被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng) (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，采用不同的信息檢測(cè)器，使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息；對(duì)X射線的采集，可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。正因如此，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡。
掃描電鏡在追求高分辨率、高圖像質(zhì)量發(fā)展的同時(shí)，也向復(fù)合型發(fā)展，即成為把掃描、透射及微區(qū)成分分析、電子背散射衍射等結(jié)合為一體的復(fù)合型電鏡，實(shí)現(xiàn)了表面形貌、微區(qū)成分和晶體結(jié)構(gòu)等多信息同位分析。近幾年隨著計(jì)算機(jī)、信息數(shù)字化技術(shù)的發(fā)展和在掃描電鏡上的應(yīng)用，使得掃描電鏡的各種性能發(fā)生了新的飛躍，操作更加快捷，使用更加方便，是科學(xué)研究及至工業(yè)生產(chǎn)等許多領(lǐng)域應(yīng)用的顯微分析儀器之一。
